消息面上，台积电预计2026年资本支出最高560亿美元，同比增长37%，其中70%-80%投向先进制程，支撑AI需求。受此影响，美股阿斯麦、应用材料、拉姆研究盘中上涨6.9%、8.5%、6.5%，创历史新高。
机构指出，台积电capex超预期印证AI驱动下半导体设备需求韧性，带动全球半导体前道设备及后道封测设备高景气。国内政策、资本、需求合力，国产设备订单有望加速。近期半导体设备行业催化不断，大基金三期增资中芯南方、长鑫存储招股书发布，国内先进制程扩产与供应链本土化加速，国产前道半导体设备迎替代与订单双重红利。此外，先进封测设备迎发展机遇。Chiplet、CoWoS等技术升级带动固晶、测试等设备需求爆发，国内企业在关键环节突破，受益于封测产能扩张与技术升级红利。
截至2026年1月16日 09:34，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨2.13%，成分股天岳先进上涨10.35%，上海合晶上涨7.75%，兴福电子上涨4.94%，和林微纳，富创精密等个股跟涨。科创半导体ETF鹏华(589020)上涨1.93%， 冲击3连涨。最新价报1.48元。
科创半导体ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2025年12月31日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、华海清科、沪硅产业、中微公司、中科飞测、安集科技、芯源微、天岳先进、华峰测控、盛美上海，前十大权重股合计占比74.05%。
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