9月27日|據中國化工報,華東理工大學副教授莊黎偉、美國約翰霍普金斯大學教授邁克爾·薩帕希斯領銜的國際合作團隊,提出了一種間歇性旋塗化學液相沉積製備非晶態沸石咪唑酯骨架(aZIF)薄膜的方法,實現了薄膜沉積速率和厚度的可控,並進行了電子束光刻和超越極紫外光刻驗證。相關研究近日發表於《自然—化學工程》。
據介紹,近年來,aZIF薄膜被用作先進光刻膠。實現aZIF薄膜的大面積、高精度可控制備,對相關領域的先進光刻工藝具有重要意義。在前期基於超稀釋前驅體溶液賦能化學液相沉積法制備aZIF薄膜策略的基礎上,研究團隊提出了製備aZIF薄膜的新方法。
根據公司經營業務以及自身在投資者關係互動平台的披露,A股市場佈局半導體光刻膠業務的公司有上海新陽、南大光電、聚光科技等20家,這些公司中既有屬於半導體產業鏈上下游公司,也有公司的子公司或參股公司參與半導體光刻膠業務。
新聞來源 (不包括新聞圖片): 格隆匯