| 姓名 | 程卓 | 職務 | 董事長 |
| 性別/年齡 | 女/60 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 程卓，女，1966年5月出生，中國國籍，無境外永久居留權，安徽工商管理學院工商管理碩士。程卓於1981年9月至1984年6月就讀於安徽省大江技校機械專業，1982年9月至1985年8月就讀於安徽電大漢語言文學專業，1984年8月至1998年4月，在國營九四〇九廠（安徽通用機械廠）從事管理工作；1998年12月至2012年12月，擔任安徽盛佳拍賣有限責任公司總經理；2002年5月至2005年1月就讀於安徽工商管理學院工商管理專業；2011年7月至2019年10月，擔任安徽盛佳奔富商貿有限責任公司法定代表人、執行董事；2016年3月至2019年10月，擔任芯碁有限董事長；2019年10月至今，擔任公司董事長。 |
| 姓名 | 方林 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/47 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 方林，男，1979年9月出生，中國國籍，無境外永久居留權，合肥工業大學碩士。2001年7月至2005年8月擔任上海鐵路局南京培訓中心機電教研室教師；2007年3月至2013年3月，擔任合肥芯碩半導體有限公司研發部工程師、總監；2013年4月至2014年3月，擔任天津芯碩精密機械有限公司技術部副總經理；2014年4月至2015年6月，擔任合肥芯碩半導體有限公司技術部副總經理；2016年3月至2019年10月，擔任合肥芯碁微電子裝備有限公司董事、總經理；2019年10月至今，擔任公司董事、總經理。 |
| 姓名 | 趙淩雲 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/49 | 學歷 | - |
| 簡歷 | 趙淩雲，男，1977年2月出生，中國國籍，無境外永久居留權，2002年7月至2007年7月，任職於台灣健研科技有限公司；2007年7月至2014年4月，任職於南京協力電子科技集團有限公司；2014年4月至2020年2月，任職於南京協辰電子科技有限公司；2020年3月至2021年11月任公司運營總監；2021年11月至今，擔任合肥九川智能裝備有限公司執行董事兼總經理；2021年9月至今，任合肥芯碁微電子裝備股份有限公司董事。 |
| 姓名 | 周馳軍 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/60 | 學歷 | 本科 |
| 簡歷 | 周馳軍，男，1966年9月生，中國國籍，無境外永久居留權，本科。1988年至1994年任合肥礦山機器廠研究所機械CAD設計工程師；1994年至2005年，任合肥中建工程機械有限公司董事長；2005年至2007年，聯合創辦合肥鑫城礦業有限公司並擔任總經理；2007年12月至今，創建三一重工挖掘機代理商合肥湘元工程機械有限公司並擔任董事長兼總經理。現任三一集團獨立董事、中國工程機械協會挖掘機分會副會長、中國工程機械協會代理商委員會副會長、正和島企業家俱樂部安徽分會副主席等職務；2022年10月至今，擔任合肥芯碁微電子裝備股份有限公司董事。 |
| 姓名 | 劉鋒 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/48 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 劉鋒，男，1978年4月生，中國國籍，無境外永久居留權，西安電子科技大學工學學士，復旦大學工程碩士，2014年獲得高級工商管理EMBA碩士學位。曾在科廣微電子、Conexant科勝訊寬帶通訊、NXP恩智浦，Trident，Entropic等半導體公司擔任產品研發及亞太區技術支持管理等職位，擁有豐富的電子產業鏈產品及市場和相關投融資經驗，現任華登國際投資執行董事。2023年11月至今，擔任合肥芯碁微電子裝備股份有限公司董事。 |
| 姓名 | 鐘琪 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/44 | 學歷 | 博士 |
| 簡歷 | 鐘琪，男，1982年5月生，中國國籍，無境外永久居留權，中國科學技術大學管理科學與工程專業本、碩、博。中國科學技術大學特任副研究員。2010年7月至2018年8月，先後任中國科學技術大學發展規劃處戰略管理崗主管、副處長；2018年8月至2020年6月，任安徽省高新技術產業投資有限公司副總經理；2020年7月至今，任中國科學技術大學特任副研究員、科技戰略前沿研究中心副主任。2024年11月11日至今，擔任合肥芯碁微電子裝備股份有限公司獨立董事。 |
| 姓名 | 周亞娜 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 女/72 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 周亞娜，女，1954年1月出生，中國國籍，無境外永久居留權，中國注冊會計師（非執業會員），安徽大學會計學碩士學位。曾任安徽大學經濟學院講師、副教授、教授，系主任、副院長、常務副院長，安徽大學工商管理學院院長，安徽大學商學院教授、2017年7月退休。現任徽商銀行、安徽省交通規劃設計研究總院股份有限公司獨立董事，科大國盾量子技術股份有限公司獨立董事。 |
| 姓名 | 王樂得 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/65 | 學歷 | - |
| 簡歷 | 王樂得，男，1961年在香港出生，籍貫為廣東潮州揭陽，現居香港。1981年修畢香港理工學院化學工藝文憑及高級證書。1998年，獲香港工業專業評審局頒授副院士。2015年，獲香港特別行政區委任為非官守太平紳士。1981年至1984年間先後任職線路板制作工程師及貴金屬回收化驗師。1984年加入美國勵樂（亞洲）有限公司（現合並至杜邦化工），1992年擔任亞洲區行政總裁，管理年營業額超過20億港元的特殊化學添加劑業務及中國、台灣、香港、新加坡生產廠房、技術服務中心及科研基地。2002年，與歐洲瑞士合作夥伴創辦思捷環保科技有限公司，總部設在香港，深圳/東莞及台灣設有分公司，遼寧設有合作公司，泰國設有合資公司。為亞洲區特別在中國的電路板、半導體、電子業、貴金屬、汽車及五金電鍍等行業設計、生產、安裝、及營運純水、廢氣、廢水、耗材/水回用及減排節能系統，至2012年再拓展節能減排省電、耗材再生回用、太陽能光伏等項目；近年與HKCTC合作開拓ESG顧問服務、LCMP低碳制造減碳方案、碳權交易平台及拓展東南亞業務。 |
| 姓名 | 魏永珍 | 職務 | 職工代表董事 |
| 性別/年齡 | 女/44 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 魏永珍，女，1982年5月出生，中國國籍，無境外永久居留權，中國科學技術大學工商管理碩士，中國注冊會計師（非執業會員）。2005年7月至2006年10月擔任上海申能博彩生物科技有限公司財務部會計；2006年11月至2010年6月，擔任德特威勒（蘇州）配線系統有限公司財務部主管；2010年6月至2019年4月，歷任陽光電源股份有限公司財務中心經理、副總經理；2019年4月至2019年10月，擔任芯碁有限財務總監；2019年10月至今，擔任公司財務總監、董事會秘書；2020年4月至今，擔任公司董事。 |