| 姓名 | 李功燕 | 職務 | 董事長 |
| 性別/年齡 | 男/46 | 學歷 | 博士 |
| 簡歷 | 李功燕先生，1979年6月出生，中國國籍，無境外永久居留權，中國科學院自動化研究所畢業，博士研究生學歷，研究員，博士生導師。2008年7月至2010年7月任中國科學院自動化研究所助理研究員，2010年8月至2016年5月歷任中科院微電子所助理研究員、副研究員、研究員，2016年6月至今歷任中科院微電子所智能制造電子研發中心主任、智能物流裝備系統工程實驗室主任；2012年10月至2019年9月歷任江蘇物聯網研究發展中心智能交通研究中心技術總監、信息識別與系統控制研究中心實驗室副主任；2016年5月至2020年3月任中科微至智能制造科技江蘇有限公司（中科微至科技股份有限公司前身，以下簡稱“微至有限”）董事長，2016年5月至2019年5月任微至有限經理，2020年3月至今任公司董事長；2018年4月至今任無錫微至源創投資企業（有限合夥）（以下簡稱“微至源創”）執行事務合夥人；2019年1月至今任無錫群創眾達投資合夥企業（有限合夥）(以下簡稱“群創眾達”)執行事務合夥人。 |
| 姓名 | 姚益 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/38 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 姚益先生，1987年12月出生，中國國籍，無境外永久居留權，英國伯明翰大學畢業，碩士研究生學歷。2012年4月至2014年5月任招商證券股份有限公司投資顧問；2014年6月至今任中科貫微總經理；2016年5月至2019年5月任微至有限董事、經理助理；2019年5月至2020年3月任微至有限董事、經理，2020年3月至今任公司董事、總經理。 |
| 姓名 | 杜萍 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 女/39 | 學歷 | 博士 |
| 簡歷 | 杜萍女士，1986年10月出生，中國國籍，無境外永久居留權，北京郵電大學畢業，碩士研究生學歷；中國科學院微電子研究所在讀博士。2008年7月至2009年11月任昌碩科技（上海）有限公司硬件工程師；2010年9月至2013年3月於北京郵電大學學習並獲得檢測技術與自動化裝置碩士學位；2013年4月至2019年6月任江蘇物聯網研究發展中心信息識別與系統控制研究中心總監；2019年5月至2020年3月任微至有限董事，2019年7月至2020年3月任微至有限硬件工程師，2020年3月至今任公司董事、副總經理。 |
| 姓名 | 高博 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/42 | 學歷 | 博士 |
| 簡歷 | 高博先生，1983年9月出生，中國國籍，無境外永久居留權，中國科學院新疆理化技術研究所畢業，博士研究生學歷。2011年7月至2016年9月任中國科學院微電子研究所副研究員；2016年9月至2020年4月任北京中科新微特科技開發股份有限公司副總經理；2020年4月至今任中國科學院微電子研究所副研究員；2022年8月至今任北京中科微投資管理有限責任公司（以下簡稱“中科微投”）常務副總經理。 |
| 姓名 | 徐岩 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/63 | 學歷 | 博士 |
| 簡歷 | 徐岩先生，1962年8月出生，中國國籍，無境外永久居留權，江南大學（原無錫輕工大學）畢業，博士研究生學歷，教授，博士生導師。1984年9月至今，先後擔任江南大學生物工程學院講師、副教授、教授職位。 |
| 姓名 | 陳鳴飛 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/46 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 陳鳴飛先生，1979年10月出生，中國國籍，無境外永久居留權，西南政法大學畢業，碩士研究生學歷。2005年7月至2008年5月任上海中匯律師事務所律師；2008年5月至2015年2月任上海章宏律師事務所律師；2015年2月至2018年10月任上海瑾之潤律師事務所合夥人；2018年10月至今任上海邦信陽中建中匯律師事務所合夥人；2020年3月至今任公司獨立董事。 |
| 姓名 | 劉佳 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 女/40 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 劉佳女士，1985年12月出生，中國國籍，有境外永久居留權，2009年6月獲得伊利諾伊大學香檳分校碩士研究生學歷，2014年12月獲得華盛頓大學碩士研究生學歷。2010年8月至2013年7月任安永咨詢公司高級顧問；2015年1月至2015年12月任Airbiquity Inc.財務會計；2017年6月至2018年9月任Microsoft Corporation財務分析；2019年3月至今任CPA firms(會計師事務所)高級財稅顧問。 |