| 姓名 | HUI WANG | 職務 | 董事長 |
| 性別/年齡 | 男/65 | 學歷 | 博士 |
| 簡歷 | HUI WANG：男，1961年11月出生，美國國籍，擁有中國永久居留權，精密工學專業博士，上海市“浦江人才計劃”獲得者。1994年2月至1997年11月，擔任美國Quester Technology Inc.研發部經理；1998年5月至今任ACM RESEARCH,INC.董事長兼首席執行官、盛美上海董事長。 |
| 姓名 | 王堅 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/61 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 王堅：男，1965年2月出生，中國國籍，無境外永久居留權，機械專業碩士、計算機科學專業碩士。1986年7月至1987年4月任杭州西湖電視機廠技術員；1996年4月至1999年12月任日本富士精版印刷株式會社技術員；2001年12月至2019年4月歷任盛美上海工藝工程師、副總經理；2019年5月至今任盛美上海總經理；2020年7月至今任盛美上海董事。成功研發無應力銅拋光和電化學鍍銅技術，參與申請發明專利100余項，負責多項重大科研項目。 |
| 姓名 | 黃晨 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/35 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 黃晨：男，1991年1月出生，中國國籍，無境外永久居留權，東亞發展研究專業碩士、工商管理專業碩士。2014年8月至2016年10月歷任上海浦東融資擔保有限公司戰略部助理、風控經理；2016年10月至2022年10月歷任上海浦東科創集團有限公司戰略規劃與信息部經理、投資二部投資經理、投資二部總經理助理、投資一部總經理助理、投資一部副總經理；2022年10月至2024年11月，任上海科技創業投資（集團）有限公司項目投資部副總經理；2024年11月至今任上海浦東科創集團有限公司投資部總經理。2020年3月至今任盛美上海董事。 |
| 姓名 | 張蘇彤 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/69 | 學歷 | 博士 |
| 簡歷 | 張蘇彤：男，1957年10月出生，中國國籍，無境外永久居留權，管理學（會計學專業）博士，教授。1989年3月至2000年4月任陝西財經學院財會學院教授、會計系主任、碩士研究生導師、MBA導師；2000年4月至2003年6月任西安交通大學會計學院教授、會計系主任、碩士研究生導師、MBA導師；2003年6月至2016年12月任中國政法大學民商經濟法學院財稅金融法研究所副所長、法務會計研究中心主任、教授、碩士研究生導師；2016年12月至2021年7月任中國政法大學商學院財務會計系教授、商學院高層管理教育培訓中心主任、法務會計研究中心主任；2021年7月至2023年10月任中國政法大學法務會計研究中心主任；2017年5月至2024年3月任寶盈基金管理有限公司獨立董事；2018年10月至2024年10月任長安銀行股份有限公司獨立董事；2024年3月至2025年2月任雲南普洱學院教授（支教）；2022年12月至今任深圳長亮科技股份有限公司獨立董事。2020年7月至今任盛美上海獨立董事。 |
| 姓名 | 蔣守雷 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/83 | 學歷 | 本科 |
| 簡歷 | 蔣守雷：男，1943年3月出生，漢族，中國國籍，無境外永久居留權，大學本科學歷。曾任中國華晶電子集團公司副總經理，華越微電子公司總經理，上海華虹（集團）有限公司副總裁，中國半導體行業協會副理事長，上海市集成電路行業協會副會長、秘書長。2020年12月至2025年5月任上海安路信息科技股份有限公司（證券代碼：688107）獨立董事；2020年3月至今任普冉半導體（上海）股份有限公司（證券代碼：688766）獨立董事；2020年6月至今任上海新陽半導體材料股份有限公司（證券代碼：300236）獨立董事。現任上海市集成電路行業協會高級顧問，中國半導體行業協會榮譽顧問。 |
| 姓名 | 陳大同 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/71 | 學歷 | 博士 |
| 簡歷 | 陳大同：男，1955年4月出生，漢族，中國國籍，清華大學學士、碩士、博士，曾於美國伊利諾伊大學、美國斯坦福大學從事博士後研究。曾任美國國家半導體高級工程師；1999年5月至2000年9月，作為共同創始人創辦Omni Vision，並擔任技術副總裁；2000年9月至2008年3月，作為共同創始人創辦展訊通信，並擔任首席技術官；2008年3月至2009年12月任北極光創投投資合夥人；2009年12月至今任北京清石華山資本投資咨詢有限公司創始合夥人、董事總經理；2014年1月至今任北京清芯華創投資管理有限公司董事、投委會主席；2018年至今任元禾璞華（蘇州）投資管理有限公司創始合夥人、董事、投委會主席。2017年9月至2023年1月任中際旭創股份有限公司（證券代碼：300308）獨立董事；2018年12月至2023年3月任中微半導體設備（上海）股份有限公司（證券代碼：688012）獨立董事。 |
| 姓名 | 楊霞雲 | 職務 | 職工代表董事 |
| 性別/年齡 | 女/44 | 學歷 | 本科 |
| 簡歷 | 楊霞雲：女，1982年4月出生，中國國籍，無境外永久居留權，大學本科學歷。歷任旺宏微電子（蘇州）有限公司培訓師、埃派克森微電子（上海）股份有限公司人力資源主管、展訊通信有限公司人力資源主管、晨訊科技（上海）有限公司事業部人力資源經理，現任盛美半導體設備（上海）股份有限公司人力資源部副總裁。 |