| 姓名 | 呂光泉 | 職務 | 董事長 |
| 性別/年齡 | 男/61 | 學歷 | 博士 |
| 簡歷 | 呂光泉，男，1965年出生，美國加州大學聖地亞哥分校博士。1994年8月至2014年8月，先後任職於美國科學基金會尖端電子材料研究中心、美國諾發、德國愛思強公司美國SSTS部，歷任副研究員、工程技術副總裁等職。2014年9月至今就職於公司，曾任技術總監、總經理，現任公司董事長。 |
| 姓名 | 尹志堯 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/82 | 學歷 | 博士 |
| 簡歷 | 尹志堯，男，1944年生，中國科學技術大學學士，加州大學洛杉磯分校博士。1984年至1986年，就職於英特爾中心技術開發部，擔任工藝工程師；1986年至1991年，就職於泛林半導體，歷任研發部資深工程師、研發部資深經理；1991年至2004年，就職於應用材料，歷任等離子體刻蝕設備產品總部首席技術官、總公司副總裁及等離子體刻蝕事業群總經理、亞洲總部首席技術官；2004年至今，擔任中微公司董事長及總經理。2015年12月至2017年9月，曾任公司董事。2021年1月至今，任公司董事。 |
| 姓名 | 劉靜 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 女/55 | 學歷 | 專科 |
| 簡歷 | 劉靜女士，1971年出生，畢業於東北財經大學會計學專業，大專，具有中國注冊會計師資格、高級會計師職稱。1993年5月至2010年4月，先後任職於沈陽紡織廠、沈陽北泰方向集團有限公司下屬公司、遼寧中天華程科技有限公司，歷任財務主管、財務總監、副總經理等職。2010年4月至今就職於公司，歷任公司副總經理、財務負責人等職務，現任公司總經理。 |
| 姓名 | 袁訓 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/54 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 袁訓，男，1972年出生，畢業於北京大學，碩士研究生學歷。曾在北京華虹NEC集成電路設計有限公司、意法愛立信半導體（北京）有限公司、微軟移動（中國）投資有限公司工作，2015年加入華芯投資管理有限責任公司，歷任投資二部高級經理，戰略發展部副總經理、總經理，投資四部總經理，投資四部兼投資三部總經理，現任業務三部總經理。 |
| 姓名 | 張昊玳 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 女/38 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 張昊玳，女，1988年出生，碩士研究生學歷。現任華芯投資管理有限責任公司業務三部資深副經理，歷任中航國際航空發展有限公司轉包財務處主管，華芯投資管理有限責任公司投資三部項目經理、高級經理。 |
| 姓名 | 張憬怡 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 女/42 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 張憬怡，女，1984年生，畢業於倫敦政治經濟學院，風險與隨機過程專業，碩士研究生學位。2008年11月至2010年3月，任瑞信方正證券有限責任公司投資銀行企業融資部分析師，2010年4月至2011年2月，任中德證券有限責任公司投資銀行大項目發起部分析師，2011年3月至2012年1月，任瑞士信貸集團（香港）投資銀行企業融資部分析師，2012年2月至2016年4月，任中央匯金投資有限責任公司證券機構管理部一級經理，2016年4月至2017年12月，任安邦保險海外投資部副總裁，2017年12月至今，國投創業投資管理有限公司先進制造投資部投資總監。 |
| 姓名 | 劉勝 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/63 | 學歷 | 博士 |
| 簡歷 | 劉勝，男，1963年出生，美國斯坦福大學機械工程博士，中國科學院院士。2001年5月至今，任華中科技大學教授；2014年4月至今，任武漢大學動力與機械學院院長、工業科學研究院執行院長、微電子學院副院長。 |
| 姓名 | 黃宏彬 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/55 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 黃宏彬，男，1971年出生，上海財經大學工商管理碩士。1994年7月至今，先後任職於上海萬國證券公司、上海證券交易所、金浦產業投資基金管理有限公司、京通智匯資產管理有限公司、金圓國際有限公司、上海斐君投資管理中心（有限合夥），歷任稽核總部經理、創始合夥人等職。2021年1月至今，任公司獨立董事。 |
| 姓名 | 趙國慶 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/47 | 學歷 | 博士 |
| 簡歷 | 趙國慶，男，1979年出生，南京大學會計學博士，具有中國注冊會計師資格。2002年8月至今，先後任職於南京市江寧地方稅務局、國家稅務總局稅務幹部學院、中匯江蘇稅務師事務所有限公司、上海易宏人力資源服務有限公司、中匯睿遠稅務師事務所有限公司，歷任副科長、業務總監、合夥人等職。2021年1月至今，任公司獨立董事。 |