| 姓名 | 尹志堯 | 職務 | 董事長 |
| 性別/年齡 | 男/81 | 學歷 | 博士 |
| 簡歷 | 尹志堯先生，1944年生，美國國籍，中國科學技術大學學士，加州大學洛杉磯分校博士。1984年至1986年，就職於英特爾中心技術開發部，擔任工藝工程師；1986年至1991年，就職於泛林半導體，歷任研發部資深工程師、研發部資深經理；1991年至2004年，就職於應用材料，歷任等離子體刻蝕設備產品總部首席技術官、總公司副總裁及等離子體刻蝕事業群總經理、亞洲總部首席技術官；2004年至今，擔任中微公司董事長及總經理。 |
| 姓名 | 朱民 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/52 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 朱民先生，1973年生，中國國籍，華東政法大學學士，華東師範大學碩士。1995年至1999年，擔任上海金橋（集團）有限公司法律顧問、團委書記；1999年至2003年，歷任上海市經營者資質評價中心信息部副部長、部長；2003年至2007年，歷任上海市國資委企業改革處主任科員、上海市國資委辦公室主任科員；2007年至2010年，擔任上海市國資委辦公室副主任、援藏任西藏日喀則地區國資委副主任；2010年至2014年，歷任上海市國資委辦公室副主任、上海市國資委直屬單位管理辦公室主任、直屬單位黨委副書記；2014年至今，歷任上海科技創業投資（集團）有限公司副總經理、黨委副書記、總裁、上海國有資本投資有限公司科創總監。現任中微公司董事。 |
| 姓名 | 李鑫 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/45 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 李鑫先生，1980年生，碩士學歷，曾任上海頤廣電子科技公司執行董事、總經理、上海廣電電子股份有限公司副總經理、上海索廣電子有限公司副總經理、黨委書記、上海儀電控股（集團）公司戰略企劃部總經理、副總經濟師、上海儀電（集團）有限公司副總裁等職務。2024年10月起任上海國有資本投資有限公司副總裁。 |
| 姓名 | 楊卓 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/39 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 楊卓先生，1986年生，碩士學歷，高級經濟師，2009年加入國家開發銀行深圳市分行，歷任評審處副處長、客戶五處處長。2023年加入華芯投資管理有限責任公司，任投資三部總經理；2024年至今，任華芯投資管理有限責任公司投資五部總經理。現任中微公司董事。 |
| 姓名 | 叢海 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/58 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 叢海先生，1967年生，新加坡國立大學碩士研究生。1995年至2002年，擔任新加坡特許半導體蝕刻資深工程師；2002年至2003年，擔任美國台積電海外廠蝕刻資深工程師；2003年至2018年，擔任新加坡GlobalFoundries研發部門蝕刻部技術總監；2018年至今，擔任中微公司集團副總裁，刻蝕和外延產品部總經理。現任中微公司董事、副總經理。 |
| 姓名 | 陶珩 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/50 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 陶珩先生，1975年生，中國國籍，上海交通大學碩士研究生。1997年至2002年，擔任武漢理工大學校辦工廠機械工程師；2002年至2003年擔任捷銳氣壓設備（上海）有限公司機械工程師；2003年至2005年擔任精技機電（上海）有限公司機械工程師。2005至今，歷任中微公司執行總監、副總裁、集團副總裁，LPCVD產品部和公共平台工程部總經理、CVD產品部及公共工程部總經理。現任中微公司董事、副總經理。 |
| 姓名 | 張聿 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/53 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 張聿先生，1972年生，美國夏威夷大學碩士研究生。2008年至2010年，任恩智浦機頂盒業務部全球總經理；2010年至2013年，任PMCS全球副總裁兼中國區總裁；2013年至2014年，任建信投資執行董事。2016年至2023年，任華登投資咨詢（北京）有限公司管理合夥人；2024年至今，任上海華登高科私募基金管理有限公司管理合夥人。現任中微公司獨立董事。 |
| 姓名 | 徐萍 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 女/56 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 徐萍女士，1969年生，北京大學法學學士，復旦大學法律碩士。2003年至2022年，任天元律師事務所合夥人，主要從事證券、公司收購與兼並、資產重組以及境外融資業務；2016年至2019年，任中國證監會第六屆並購重組審核委員會委員；2023年至今，任漢坤律師事務所合夥人（境內證券業務主要負責人）。 |
| 姓名 | 孫錚 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/68 | 學歷 | 博士 |
| 簡歷 | 孫錚先生，1957年生，經濟學（會計學）博士。曾任上海財經大學校學術委員會主任委員、副校長、商學院院長，財政部中國會計准則委員會委員,中國會計學會副會長，上海證券交易所上市委員會委員。現任上海財經大學資深教授，中國注冊會計師協會資深會員（非執業會員），澳大利亞注冊會計師公會（CPAAustralia）資深注冊會計師、榮譽會員（FCPA）。 |