消息面上，英伟达年度GTC大会将于当地时间3月16日开幕，黄仁勋将发表主题演讲并发布新一代芯片架构及推理芯片，有望强化市场对AI产业持续增长的信心。
爱建证券指出，关键材料价格上行叠加供应链安全诉求，半导体设备零部件国产化有望加速。高纯碳化硅、陶瓷基材、特种金属等设备关键材料价格持续上行，抬升设备零部件制造成本中枢。在设备厂商持续推进降本与供应链安全管理的背景下，国内企业正逐步强化本土供应链建设，客户认证深、材料与工艺能力突出的国产零部件企业有望加速导入并持续提升市场份额。
截至2026年3月16日 13:18，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨1.18%，成分股神工股份上涨5.03%，金宏气体上涨4.77%，和林微纳上涨4.43%，华海诚科，艾森股份等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨1.14%，最新价报1.33元。
科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年2月27日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科、中微公司、拓荆科技、中科飞测、沪硅产业、芯源微、安集科技、华峰测控、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比73.19%。
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