| 姓名 | 赵晋荣 | 职务 | 董事长 |
| 性别/年龄 | 男/61 | 学历 | 硕士 |
| 简历 | 赵晋荣先生，1964年出生，中国国籍，工商管理硕士，教授级高级工程师。现任公司董事长、执行委员会主席、党委书记，中国电子专用设备工业协会理事长，中国集成电路装备创新联盟理事长，中国集成电路产业技术创新联盟副理事长，2014年入选国家百千万人才工程，2015年被评为享受国务院政府特殊津贴人员，2019年被授予“北京学者”称号，2020年被评为“北京市劳动模范”。曾任北京建中机器厂总工程师、常务副厂长，北京七星华创电子股份有限公司副总经理、总经理，北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司副总经理、总经理。 |
| 姓名 | 李前 | 职务 | 副董事长 |
| 性别/年龄 | 男/47 | 学历 | 硕士 |
| 简历 | 李前先生，1978年出生，中国国籍，工程硕士，高级管理人员工商管理硕士，正高级经济师、工程师。现任北京电子控股有限责任公司副总经理、北京七星华电科技集团有限责任公司党委书记、董事长。曾任北京大华商贸公司总经理，北京大华无线电仪器厂实业公司总经理，北京大华无线电仪器厂厂长助理、生产管理部部长、副厂长，北京电子控股有限责任公司战略发展部、党委工作部/高管部/企业文化部部长。 |
| 姓名 | 陶海虹 | 职务 | 非独立董事 |
| 性别/年龄 | 女/50 | 学历 | 硕士 |
| 简历 | 陶海虹女士，1975年出生，中国国籍，工学硕士，高级人力资源管理师、正高级经济师。现任公司董事、执行委员会副主席、总裁、党委副书记，北京电子学会副理事长，中关村融信金融信息化产业联盟副理事长，北京经济技术开发区科学技术协会副主席。曾任北京建中机器厂真空设备设计所副所长，微电子设备分公司技术副经理，北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司总裁助理、人力资源部部长、人力资源总监、副总经理、党委副书记、党委书记。 |
| 姓名 | 叶枫 | 职务 | 非独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/60 | 学历 | 本科 |
| 简历 | 叶枫先生，1965年出生，中国国籍，工学学士，工程师。现任公司董事，北京电子控股有限责任公司外派专职董事，京东方科技集团股份有限公司董事，北京兆维电子（集团）有限责任公司董事，北京北方算力智联科技有限责任公司董事。曾任北京建中机器厂副厂长，北京七星华创电子股份有限公司董事、总经理，北京北广电子集团有限责任公司副总裁，北京大华无线电仪器厂厂长，北京大华无线电仪器有限责任公司董事长。 |
| 姓名 | 杨卓 | 职务 | 非独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/39 | 学历 | 硕士 |
| 简历 | 杨卓先生，1986年出生，中国国籍，经济学硕士，高级经济师。现任华芯投资管理有限责任公司投资三部总经理。曾任国家开发银行深圳市分行评审处副处长、客户五处处长。 |
| 姓名 | 杨柳 | 职务 | 非独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/46 | 学历 | 硕士 |
| 简历 | 杨柳先生，1979年出生，中国国籍，材料学硕士及工商管理硕士。现任华芯投资管理有限责任公司投资三部资深副经理。曾任应用材料公司技术工程师，大族激光工艺总监，国开金融高级经理、总经理助理、资深副经理。 |
| 姓名 | 纪安宽 | 职务 | 非独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/52 | 学历 | 硕士 |
| 简历 | 纪安宽先生，1973年11月出生，中国国籍，硕士研究生，高级工程师。现任公司执委会委员、副总经理，北京电子商会副会长，北京电子制造装备行业协会理事长，北京集成电路学会副会长。曾任北京建中机器厂办公室主任、北京七星华创电子股份有限公司总裁办公室主任、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司总裁助理兼公共关系部部长、市场总监、营销总监、营销副总裁、北京北方华创微电子装备有限公司执行董事、执行委员会委员、COO、人力副总裁、营销副总裁。 |
| 姓名 | 陈胜华 | 职务 | 独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/55 | 学历 | 博士 |
| 简历 | 陈胜华先生，1970年出生，中国国籍，硕士，中国资深注册会计师、正高级会计师，全国会计领军人才，中欧EMBA，长江DBA。现任公司独立董事，北京兴华会计师事务所（特殊普通合伙）管理委员会荣誉主任、高级合伙人，兼任中国注册会计师协会法律援助与权益保护委员会委员、北京注册会计师协会政务委员会委员、中央财经大学会计学院、首都经贸大学会计学院硕士生客座导师、唐山三友化工股份有限公司、华夏银行股份有限公司、皮阿诺股份有限公司独立董事，财政部第三届内部控制委员会专家组成员，北京市财政局内部控制委员会委员。曾任北京华信诚会计师事务所有限责任公司副主任会计师，北京华夏正风会计师事务所合伙人、首席合伙人。 |
| 姓名 | 刘怡 | 职务 | 独立董事 |
| 性别/年龄 | 女/62 | 学历 | 博士 |
| 简历 | 刘怡女士，1963年出生，中国国籍，经济学博士。现任公司独立董事，北京大学经济学院财政学系教授，北京大学中国财税研究中心主任，中国财政学会常务理事。 |
| 姓名 | 张大成 | 职务 | 独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/64 | 学历 | 博士 |
| 简历 | 张大成先生，1961年4月出生，中国国籍，理学博士。现任北京大学集成电路学院教授、工艺实验室主任。其研究成果“硅基MEMS加工技术及应用研究”获得国家技术发明二等奖；“高效单面加工MEMS规模制造关键技术”获得上海市科学技术发明一等奖；获得30多项微纳工艺、传感器、执行器、试验方法相关发明专利授权；IEC MEMS领域首个来自中国提案标准的项目负责人。曾任北京市半导体器件三厂国内首条4英寸线主任工程师。 |
| 姓名 | 王志成 | 职务 | 独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/51 | 学历 | 博士 |
| 简历 | 王志成先生，1974年1月出生，中国国籍，管理学博士，中国注册会计师。现任北京国家会计学院副教授、硕士生导师，中节能风力发电股份有限公司（601016）独立董事、北京致远互联软件股份有限公司（688369）独立董事、北京国电四维清洁能源技术有限公司董事。曾任兰州大学经济管理学院教师、华北电力大学教师、天健会计师事务所高级经理、德勤华永会计师事务所高级经理、华北电力大学经济与管理学院会计教研室主任、硕士研究生导师。 |