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外电指上海爱晟纳主导国产DUV光刻机量产工作
2026-07-28 17:45:45
《路透》引述消息报道，上海爱晟纳电子科技集团正主导量产国产浸没式深紫外(DUV)光刻机，但预计还需要进一步测试，而且仍与ASML(ASML.US)的同类产品有较大差距。
报道引述消息人士指，这款国产DUV光刻机预计将於今年交付予多间晶片制造商，包括中芯国际(00981.HK)、华虹半导体(01347.HK)等。(sl/da)~
阿思达克财经新闻
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