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中國據報已逆向建造EUV原型機 並成功產生極紫外光
《路透》引述消息報道,中國科學家在深圳一處高度保密的實驗室內,建造了一台極紫外光刻機(EUV)原型機。消息指,該原型機幾乎佔據整個廠房樓層,在年初完成並正進行測試,目前已可運作並成功產生極紫外光,尚未...
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中國據報已逆向建造EUV原型機 並成功產生極紫外光
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《路透》引述消息報道,中國科學家在深圳一處高度保密的實驗室內,建造了一台極紫外光刻機(EUV)原型機。

消息指,該原型機幾乎佔據整個廠房樓層,在年初完成並正進行測試,目前已可運作並成功產生極紫外光,尚未生產出可運作的晶片。消息指,中國政府目標2028年前使用該原型機生產出可運作晶片,但項目相關人士表示,更現實目標為2030年。

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消息又指,該光刻機由一群荷蘭光刻機生產商ASML前工程師組成的團隊建造,他們逆向建造該EUV。(fc/w)

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