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中国据报已逆向建造EUV原型机 并成功产生极紫外光
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AASTOCKS新闻
《路透》引述消息报道,中国科学家在深圳一处高度保密的实验室内,建造了一台极紫外光刻机(EUV)原型机。
消息指,该原型机几乎占据整个厂房楼层,在年初完成并正进行测试,目前已可运作并成功产生极紫外光,尚未生产出可运作的晶片。消息指,中国政府目标2028年前使用该原型机生产出可运作晶片,但项目相关人士表示,更现实目标为2030年。
消息又指,该光刻机由一群荷兰光刻机生产商ASML前工程师组成的团队建造,他们逆向建造该EUV。(fc/w)
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